二手 ASYST 12000-002 #9013356 待售

ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler是一種精密晶圓和基板處理設備,設計用於對半導體和光伏電池制造過程參數進行嚴格控制。自動化平臺的設計旨在執行有效晶片運輸所需的所有功能，包括晶片裝卸、晶片單選、晶片對準和晶片夾緊。它可以配置多個真空室和端口班車，並且可以與上下遊模具進行連接，以達到最高水平的生產率和生產質量。12000-002采用高精度、非接觸式Z軸測量系統,旨在確保精確控制晶圓厚度、晶圓經度和整體平整度。通過與平臺上的其他系統協同工作,Z軸測量單元可實現一致的晶圓處理結果。機器還延長晶圓壽命，最大限度地減少機械接觸造成的損害。晶圓和基板傳輸通過八軸配置實現,該配置提供快速、精確的「拾取和放置」運動。該工具的運動範圍很廣，最大可達190毫米的橫移，並且控制嚴密的行進速度可達2 m/s。此外，平臺利用單個運動軸使用軌跡規劃安全地加速、減速或移動每個晶片。ASYST 12000-002具有強大的結構和集成的溫度控制功能。平臺溫度精確維持在20°C至40°C的範圍內。溫度還可以通過工藝變化實時調節，確保資產的最大安全性和可靠性。為確保晶圓的可靠處理,該操作龍門設計用於快速、集成的真空控制.采用全封裝真空模型，保證最佳氣流、最小噪聲和真空水平的精確調整。多級真空設備還可確保多個晶片的過程均勻性。12000-002具有高級編程功能,能夠高效集成到各種半導體生產過程中。平臺可以使用G-code或定制的控制語言進行編程。這允許在專門的流程中進行系統配置,從而實現最高級別的自動化和吞吐量。該單位還配備了操作精度綜合監控機器。通過機械和電子傳感器的組合，監測工具提供晶圓對準和位置的實時反饋。這樣可以快速排除故障並優化過程控制,從而獲得最大的產量。ASYST 12000-002 Smart Vacuum Handler是一個先進的晶圓和基板處理平臺,能夠精確控制半導體生產過程參數。其先進的功能可實現高效的自動化和高度可靠的晶圓傳輸,通過高效集成到各種半導體工藝中來確保最大產量。