二手 ASYST 12000-004 #9111130 待售

ASYST 12000-004
ID: 9111130
Robots P/N: 029475 01-0203-029950 01-0303-029691.
ASYST 12000-004是一款先進的晶圓處理程序,旨在提高晶圓吞吐量、提高精度和改進半導體制造過程中的工藝控制。這款晶圓處理器配備了最新一代的低摩擦驅動技術,在晶圓傳輸和運動過程中實現了更高的速度運動和更高的精度。這種先進的設備經過專門設計,便於嚴格控制關鍵的制造工藝,包括CVD、蝕刻、光刻和擴散。12000-004有一個八級晶圓存儲托盤,最多可以存儲600個晶圓。這種增加的存儲容量有助於方便地訪問大量預處理的晶片,這對於大批量生產可能至關重要。獨特的托盤設計還允許批處理晶片快速重組,以實現快速、精確的後期處理。這個晶圓處理程序有一個完整的機器人外圍設備陣列,以方便更快,更精確的晶圓處理。該系統的端部效應器包括升降機、晶片堆棧、晶片背板以及用於CVD、蝕刻、光刻和擴散過程的級。末端效應子設計為最大精度和嚴格控制晶圓傳遞和運動。ASYST 12000-004還包括工業計算機、可擴展軟件包、集成電纜和電磁線軸執行器。為了增加安全和保護,該單元內置了安全互鎖。此安全鎖設計用於在操作過程中檢測到異常情況時自動停止晶圓處理操作。它還確保機器在緊急情況和停機時的受控操作。12000-004配備了一整套診斷程序,可提供有關刀具性能的寶貴反饋,並幫助確定制造過程中可能出現的問題。診斷液晶屏還會查看資產的性能和運行狀況,並顯示重要的通知和警報。在性能方面,這款晶片處理程序能夠將晶片定位在± 0.3微米的公差。快速精確的晶圓運動是用先進的運動控制模型完成的,設備的運動範圍為260毫米(x軸)、180毫米(y軸)、115毫米(z軸)。這個系統也有不到1.5秒的循環時間,使其成為市場上效率最高的晶圓處理器之一。ASYST 12000-004是一個先進的晶圓處理單元,旨在提供準確、快速的晶圓處理,同時確保最高級別的過程控制。它有各種各樣的機器人外圍設備,一個診斷液晶屏幕,和一套全面的診斷軟件。它能夠以亞微米分辨率提供高度精確的晶圓運動,其循環時間是業內最快的。總體而言,12000-004是現代半導體制造快節奏、大容量需求的理想晶圓處理程序。
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