二手 ASYST 2150 #145900 待售

製造商
ASYST
模型
2150
ID: 145900
SMIF arms Configuration: Motor: Elevt axis motor Platform axis motor Rotate axis motor Tilt axis motor Pod lock/unlock motor Belt: Elevt axis belt Platform axis belt Rotate axis belt Tilt axis belt C. Sensor: Elevt axis sensor Platform axis sensor Rotate axis sensor Tilt axis sensor Pod lock/unlock sensor Pod in place sensor Gripper close/open sensor Ipor squt sensor PCB IC: ILQ2 TIT127 Connect / Cable: Power cable Signal cable Currently located in a humidity-controlled room.
ASYST 2150是一款模塊化、用途廣泛的晶圓處理器,旨在滿足半導體行業自動化晶圓處理應用的需求。2150是一種快速、高效、精確的晶圓處理器,能夠處理直徑達150毫米的基板。ASYST 2150可以水平或垂直安裝並集成到生產線中。為了便於訪問,2150可以配備符合人體工程學的升降機功能或傾斜框架選項。它還具有可選的觸摸屏控制面板,以增強可用性。此外,外殼還可以保護其免受灰塵、任何機械應力和靜電放電的影響。ASYST 2150采用高分辨率直線電動機設計,可實現超精確定位。這款馬達還能處理多達4個運動軸,最高轉速為10厘米/秒。2150利用快速、動作驅動的晶圓傳輸技術,具有獨特的「EZ-Live」機制,使其能夠處理單晶圓或多晶圓傳輸。該系統減少了周期時間,同時提供了最佳精度,以減少制造缺陷和廢品率。ASYST 2150還有一個安全的直通頂板輸送機,提供高效的多晶片裝卸。2150還有一些安全和監測選項,以確保其可靠的性能。一個可選的基於軟件的應力控制系統將監控晶片負載均勻應力,確保晶片處理安全穩定。此外,ASYST 2150還內置了帶有可選報警的故障檢測系統。這使操作員能夠快速檢測任何故障並采取適當的糾正措施。總體而言,2150是一個可靠和高效的晶圓處理程序,能夠處理各種各樣的基材。其模塊化結構和堅固的特性使其成為自動晶圓處理應用的理想選擇。有了一系列可用的選項,就可以輕松設置並集成到現有生產線中,從而實現可靠的運行。
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