二手 ASYST 2150H-VIII #9136633 待售

ID: 9136633
Wafer Handler Fan assemblies.
ASYST 2150H-VIII Wafer Handler是專為半導體器件的包裝和加工而開發的全自動真空處理設備。這個最先進的系統由接口機器人、真空軌道、舞臺運動單元、處理程序和自動晶圓對準機等一系列模塊化組件組成。接口機器人從軌道接收晶片,使用步進柱對其進行對齊,並將其置於下面處理程序中的合適位置。真空磁道以最大140晶片/分鐘的速率接收多達200個晶片的盒式磁帶。然後將晶片采用吸入和鎖定原理,采用真空技術和鎖存方式轉移到車載機器人身上。Stage Motion Tool是一種多軸資產,由線性執行器、旋轉和傾斜級以及軸編碼器組成。該模型負責將晶片從軌道設備輸送到處理程序。處理程序部分最多可支持400個晶圓和2個拾取頭,允許同時傳輸多個晶圓。自動晶圓對準系統(Automatic Wafer Alignment System)是一種伺服驅動的機構,使用高精度的激光和對準的參考鏡來定向晶圓。這樣可以確保將晶片精確地放置到處理程序的各個階段。晶片處理程序使用雙臂轉移單元,該單元牢固地固定在晶片上,並在各級之間攜帶。手臂精確移動,可以精確定位、操縱和對準晶片。機器人、軌道和對準機都是Wafer Handler 2150H-VIII技術的一部分,它使高速晶片的生產成為可能。機器人控制系統的速度,允許更大的控制和精度的工具。該資產具有可變性功能,允許用戶在低速和高速過程之間切換。2150適合大批量製造,可處理高達8吋的大幅面晶片。ASYST 2150H-VIII是市場上最先進的晶圓處理機,為半導體行業提供了最高的精度和生產速度。該模型有助於提高晶片的生產速度,對整個生產過程給予更大的控制,並確保生產可靠和高質量的半導體器件。
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