二手 ASYST 300FL #46075 待售
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ID: 46075
new Front end with Robot Controller track, load pods, pre aligner. All SW and HW, mates with KLA products AIT XUV, or AIT UV, or PUMA 9000 or ATI III, or AIT XP.
ASYST 300FL Wafer Handler是專為半導體制造加工而設計的機械臂。該設備提供精確的機器人移動,以確保晶片在任何預編程處理站上的準確和一致的放置。晶圓處理程序利用一系列協調的運動,包括線性和旋轉,在加工過程中準確可靠地移動晶圓。處理程序提供高速、可重復的運動,並且能夠在不到200毫秒的時間內精確定位晶圓。該單元配有可處理多達300毫米晶圓的端效臂,精度公差為+/-25微米。處理程序具有模塊化體系結構,可以定制以滿足特定的應用程序要求。它的模塊化設計還可以容納一系列選項。它能夠同時處理一到四個晶片,並且可以與一個附加傳感器連接以進行對準。整個系統由PLC和簡單的機械結構控制,包括多個傳感器和極限開關,以獲得卓越的晶圓處理性能。300FL Wafer Handler專為惡劣的環境操作而設計,為半導體加工提供卓越的性能。它幾乎可以在任何溫度和濕度範圍內運行。此外,它的設計確保了對灰塵、水分和其他環境汙染物的高度保護,從而能夠穩定和可靠地運行。該單元還配備了一個內置的自我診斷機器,用於維護和維修服務。總體而言,ASYST 300FL Wafer Handler是一種堅固的工具,設計用於半導體生產過程中精確一致的晶圓處理。它專為準確性、可靠性和壽命而設計,並提供多種選項和可定制的組件。憑借其先進的設計,它能夠在毫秒內準確定位晶片,從而實現高性能、流線型和自動化的生產過程。
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