二手 ASYST 300FL #9255542 待售

ASYST 300FL是為半導體工業設計的晶圓處理器。它是為滿足晶圓運輸和加工的最高要求而開發的靈活、自動化的設備。300FL利用機器人臂的一系列並行階段，在加工站之間提供多個晶片的高速裝載、卸載和運輸，同時提供多格式設計，允許精確、安全地處理裸露、碰撞和包裝的晶片。ASYST 300FL的機器人臂由提供低速、高扭矩和低噪聲性能的直驅電機驅動。這樣可以在整個晶圓傳輸系統中實現精確的速度和運動,最大速度為200 mm/s,可重復性為± 0.5 mm。機器人手臂的三軸運動給了單位極大的敏捷性，控制高度可配置和可編程，使操作員可以根據工藝要求調整運動。有了可選的晶片卡帶轉移站,操作員可以完全控制處理周期,並能夠指定應從卡帶上的特定位置獲取的晶片類型。總共，300FL最多可以容納100個晶圓（125毫米或150毫米）在四個盒式磁帶位於中轉站。自動化生產周期每個周期最多可執行22個離散步驟,使機器非常適合復雜的包裝和碰撞過程。除晶圓處理工具外，ASYST 300FL還包括多種功能，使其成為半導體制造的一個有吸引力的解決方案。該資產包括以太網連接,便於模型控制,並帶有直觀的圖形用戶界面（GUI）,使操作員能夠快速配置設備、運行測試和查看系統信息。此外，該單元還包括高級安全功能，如互鎖安全包層、緊急停止開關和多個獨立的安全子系統。總而言之，300FL是一個可靠和靈活的晶圓處理半導體行業。由於其高速、精確和安全的性能,該機器提供了理想的特性和性能組合,使其成為復雜晶圓傳輸和處理操作的有吸引力的解決方案。