二手 ASYST 9700-6148-01 #9095779 待售

ASYST 9700-6148-01是一款機器人晶片處理程序，用於半導體工業中處理8英寸晶片。它設計用於100級潔凈室環境中操作，適用於晶圓處理以外的許多操作，包括烘烤、探測、測量和分類任務。晶圓處理程序包括一個主機器人組件、一個自動安培器提升單元和一些外圍部件，包括視覺設備、空氣閥、閥門組件和視覺系統。中央機械臂能夠沿著所有三個軸精確運動，使其能夠快速準確地操縱最大直徑200毫米的晶圓。自動放大器升降機單元提供了8英寸晶圓在垂直方向上的一致、可重復和受控的運動，使它們能夠高效地從晶圓處理程序中加載和卸載。9700-6148-01晶片處理程序還具有視覺系統,用於在處理前後對晶片執行晶片檢查和測量過程。視覺單元具有強大的變焦、記錄和分析功能，並輔之以一系列的照明方式，可以進行各種不同的檢查和測量任務。晶圓處理程序的外圍組件進一步增強了其功能。空氣閥可實現晶圓室框架間的運動和晶圓傳輸的自動化，而閥門組件則可精確選擇和操縱晶圓位置。視力系統在傳輸操作中用於驗證晶片位置，並確保沒有濺射、汙染和邊緣損壞。最後,ASYST 9700-6148-01被設計為一種可靠而堅固的機器,能夠在清潔室環境中執行晶圓處理任務。為了滿足這些要求，其組件、通信機器和過程控制軟件經過專門設計和測試，以滿足晶圓處理和處理的最高標準。