二手 ASYST 9700-6208-01 #9194811 待售

ASYST 9700-6208-01晶片處理程序是一種半導體加工工具，旨在幫助在IC制造過程中自動操作和運輸晶片。此處理程序旨在解決晶片處理中面臨的許多挑戰,如吞吐量低、晶片排隊和傳輸過程中晶片錯位。處理器由支撐前端和後端效應器的基幀組成,後者又提供晶圓傳輸以及晶圓拾取和處理。底架還容納了控制器和支持執行器,這些執行器允許終端效應器移動。末端效應器配有兩個晶片處理機構-真空吸盤和晶片工具，以方便晶片操作以實現完美的晶片傳輸。9700-6208-01由運動控制卡驅動。運動控制卡使用步進電機,以確保端部效應器和晶片的精確位置和運動。這些步進電機有兩個版本：（1）具有更高的扭矩和更長的沖程，用於斜坡和定位應用；（2）具有高速和更短的沖程，用於快速、可靠的晶圓傳輸。兩種版本的步進電機都是溫度補償的，設計用於可重復運動控制。晶圓處理程序還具有用於晶圓處理的內置安全系統。安全系統包括傳感器,用於檢測某物何時幹擾晶圓傳輸。傳感器連接到聯鎖裝置,以便在發生意外阻塞或障礙物時切斷步進電機和端效應器的電源。此外，晶圓處理器還有傳感器，用於檢測處理過程中有意外熱量或壓力時。ASYST 9700-6208-01晶圓處理程序是一種高效可靠的IC制造工具。它提供了一個高度可重復的晶圓傳輸和處理過程，減少了排隊和錯位的可能性，並消除了手動晶圓操作的需要。集成安全系統在處理過程中可防止堵塞和過熱,以防止晶片和工具本身受到潛在損壞。