二手 ASYST ALU 2200 #9172002 待售
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ASYST ALU 2200晶圓處理程序是一種最先進的機器人設備,專為自動晶圓和標線處理任務而設計。它具有先進的機械臂,能夠處理各種晶圓大小和形狀。該處理程序具有廣泛的可自定義功能,包括能夠在站點之間移動晶片、存儲和傳輸晶片,以及通過真空室加工晶片以進行晶片清潔或密封半導體晶片。ALU 2200利用可靠的步進電機系統進行可靠、受控的移動和易於維護。機械臂由兩個獨立的線性滑塊和一個用於精確瞄準定位的中心關節點組成。它的多軸伺服電機允許精確控制機械臂的方向,為用戶提供高精度和重復性。該單元還能夠控制其各個部件的速度,以實現快速和精確的驅動。ASYST ALU 2200配備了先進的成像能力,用於精確的晶圓處理任務。它利用1600萬像素的單色CCD相機和先進的成像處理器,提供晶圓背面的高分辨率圖像。成像處理器還可以識別和存儲2D晶圓ID。該機器能夠存儲多達30個不同的晶片ID,並在其內部夾緊工具中存儲多達30個晶片。此功能可提高吞吐量並減少停機時間。為了優化資產效率,ALU 2200設計為通過靈活的集中控制模式運行。該設備通過監測伺服電機和真空負載並提供實時診斷來維持和優化性能。它還支持與其他自動化系統的通信。該系統配備了用戶友好的圖形用戶界面,可方便地訪問設備的菜單和控件。ASYST ALU 2200晶片處理程序設計可靠、高效,提供更高的吞吐量、增強的安全功能和改進的汙染控制。其先進的元件和控制機器使其成為自動化半導體制造過程中高效晶圓處理任務的絕佳選擇。
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