二手 ASYST ARM 2200-V111S #129936 待售

ASYST ARM 2200-V111S Wafer Handler是一款功能強大、經濟高效的機器人設備,旨在滿足半導體及相關行業的需求。系統是雙臂單軸晶圓處理程序。其主要目的是將晶圓從一種工藝工具傳輸到另一種工藝工具。ASYST ARM 2200 V111S配備兩個獨立的機器人手臂。每個機器人手臂都有五個自由度，使用最先進的精確運動控制和力反饋技術來進行精確、可重復的運動。運動控制單元由伺服電機驅動，伺服電機與精密軸承耦合並附接到鋁制底座上。擴展機器是容易的，因為每個手臂可以很容易地添加或刪除，這取決於工藝要求。可選的晶圓穿梭機可用於自動晶圓傳輸。這個穿梭機能夠一次攜帶多個晶片，允許更快的晶片處理過程。配有視覺傳感器和自動晶片處理過程，穿梭器可以被編程為將晶片從一個工藝工具移動到另一個工藝工具。ARM 2200-V111S設計用於在清潔室環境中工作,並且與大多數標準工藝工具兼容。它還配備了激光幹涉儀工具（LIS），用於精確對準和晶圓定位。LIS包括兩個可調通道，每個通道都有激光和光學探測器對。該資產還包括一個基於Web的遠程服務接口,用於實現遠程訪問和診斷。此接口允許遠程故障排除、編程和維護。此外,該模型還具有外部自動化系統的用戶可選切換功能。ARM 2200 V111S可靠可靠,是各種操作的絕佳選擇。此外,它的模塊化設計使其易於集成到現有的制造操作中。這使得它成為需要精確可靠的晶圓處理的各種行業的理想選擇。