二手 ASYST ARM 2200-V111S #9267066 待售

ID: 9267066
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ASYST ARM 2200-V111S是一種用於半導體晶圓傳輸和操作的晶圓處理器。ASYST ARM 2200 V111S由具有集成真空卡盤的圓形臂和可在X、Y、Z軸上移動臂的線性滑軌組成。手臂由PLC控制器控制,並通過可編程鍵盤編程,還配有集成安全聯鎖設備,防止意外操作。手臂被包裹在一個不銹鋼車身周圍有一個系統的定制設計的氣動波紋管的機構。波紋管保護機構不受顆粒、汙垢和其他碎片的影響,而且還降低了晶圓傳輸的噪聲水平。手臂配備了非接觸式分離機構和制動帶單元,以確保晶圓的安全運輸。使用集成真空卡盤將晶片加載到臂上,該卡盤從負載端口中拾取晶片並沿臂的軌道移動。手臂具有極大的柔韌性,可以在X和Y方向上精確移動。此外,ARM 2200-V111S還內置了數據管理軟件。軟件實時監控晶圓傳輸過程,還存儲晶圓配方,以最大程度地減少加載晶圓時的設置時間。機器還具有自動傳感功能,可自動為晶圓選擇正確的負載端口大小。ARM 2200 V111S是一款最先進的晶圓處理器,在設計時考慮到了最大的效率。它能夠處理範圍廣泛的晶片尺寸和材料,操作上既精確又可靠。此外,集成的安全功能和數據管理功能使ASYST ARM 2200-V111S大容量晶圓傳輸應用的理想解決方案。
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