二手 ASYST ARM 2200 #9189323 待售

ASYST ARM 2200是一種晶片處理程序，設計用於將300 mm半導體晶片從晶片晶片中的過程移動到晶片晶片中的過程。它能夠一次處理多達兩個晶圓面，是多層晶圓工藝的理想之選。該晶片處理器設有固定的內部傳遞室，設計用於超低粒度和汙染控制，以確保晶片的完整性。該裝置采用重型倒Z型臂，可在垂直平面上移動，並具有可調的操作技術，可與任何扁平晶片配合使用。為了快速運行，該裝置采用E3電動機，使臂能夠快速地將晶片從輸入工作站移動到輸出工作站。對編碼器設備進行了優化,使其具有高精度和可重復性,以確保操作的準確性.這個晶圓處理器還有一個陶瓷室，可以延長工作周期時間，減少頻繁清洗的需要。此外，采用多區溫度控制來實現不帶溫度條件的均勻溫度分布。ASYST ARM-2200具有一個特殊的真空系統，該系統設計用於在進程之間轉換時安全地保持和移動晶片。氣墊還用於確保晶片在低壓過程中牢固地保持。該單元還提供自動對焦、晶圓定心、自動溫度調整和無應力HOLD/RELEASE操作。這使得在工藝之間傳輸薄晶片時能夠實現精細的位置精度。晶圓處理程序采用堅固耐用的不銹鋼底盤，可以長時間使用。它還具有無接觸晶片安裝適配器和雙電機晶片轉換機,以提高性能。ARM 2200的集成控制單元具有圖形用戶界面（GUI），便於單元操作。該單元還附帶軟件更新,並包含實時監控和診斷功能,以提高可靠性。