二手 ASYST Axys 21 #9283263 待售

ASYST Axys 21是一種晶圓處理程序,設計用於在工業級制造環境中自動裝卸半導體晶圓載波。結合先進的機器人運動控制和氣墊精度，Axys 21可以方便電子束和離子植入器，以及各種其他晶圓處理系統。這確保了各種尺寸、重量和形狀的晶圓載波的安全可靠的操作。晶圓處理程序配備了精密的視覺系統，以極高的精度定位和抓取晶圓。重型無刷（BLDC）電動機提供穩定而平滑的運動，而嵌入式光學線性編碼器則有助於保持定位精度。為防止晶片損壞，移動晶片載體的航天飛機使用氣墊提升機構。升降機最高可支撐30千克，在0°C至40°C的溫度下運行。ASYST Axys 21還采用了集成晶圓清洗解決方案以及集成的刷座清洗滾筒和液流設計。Axys 21還具有直觀的觸摸屏控制面板和用戶友好的圖形用戶界面,便於操作和監控流程狀態。內置安全功能包括電源故障報警、氣壓損失和手動操作。它還包含檢測晶圓阻塞、晶圓未對準和其他潛在故障的傳感器。此外,晶圓處理程序還包括一個E2緊急停止選擇器作為附加的保護措施.ASYST Axys 21與大多數行業標準半導體制造商和工藝模塊兼容。該系統的標稱周期時間為1.2秒,可提供多達1,000個晶圓載波和可選裝載器的容量。此外,它還旨在最大程度地減少流程停機時間,提高整體流程效率,並降低維護成本。簡而言之，Axys 21是一款先進的晶圓處理程序，旨在為廣泛的應用自動加載和卸載晶圓載波。它包含一系列復雜的運動和安全功能,以確保可靠和安全的操作。