二手 ASYST Custom #293657970 待售
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ASYST Custom是一種最先進的晶圓處理程序,專為處理各種類型的晶圓基板和材料而設計。它被用於半導體晶圓的生產和制造,半導體晶圓是制造集成電路的關鍵部件。此處理程序采用模塊化設計,可以靈活地進行生產,並能夠快速適應不斷變化的客戶需求。Custom配備了一系列功能,可提供高效、安全的晶圓處理設備。首先,處理程序包含晶片邊緣檢測器,用於檢測晶片進入處理鏈前的特征。它還有一個集成的RFID掃描系統,可以快速對不同的晶片類型進行排序,並識別每個晶片的來源。這允許在生產出現故障時快速召回。其次,該處理器采用先進的主動隔振系統,確保晶圓加工過程中的穩定性和低振動功能。該單元還包括腔室兩側的氣鎖系統,以防止晶圓溫度和濕度在轉移過程中發生劇烈變化。該處理器的主動定位系統采用高精度直線電機運動技術制造。這項技術提供了晶片的平穩和準確的處理,即使高速處理。處理器的關鍵部件,如機器人和執行器,采用力感應技術來確保晶片的高精度對準。最後,ASYST Custom的自動清洗機設計用於完全清潔與晶片接觸的所有表面,包括機器人、真空卡盤和輸送機。這有助於防止灰塵和其他顆粒進入工藝室,從而可能對敏感部件造成損壞。最後,Custom為先進集成電路和半導體的生產提供了可靠高效的晶圓處理解決方案。它提供了許多為安全和易於處理而設計的功能,包括晶片邊緣探測器、集成RFID掃描、高級主動振動隔離以及自動清潔工具。
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