二手 ASYST DP2200SI #9153350 待售
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單擊可縮放
ID: 9153350
晶圓大小: 6"-8"
Wafer sorter, 6"-8"
Installation base
BROOKS Wafer sorter:
(8) 2010/10 TSMC6 SCS2000
(4) 2011/03 TSMC8 SCS3000
(4) 2011/05 UMC8A UL-408
(4) 2012/06 UMC8S SCS3000
(3) SCS408
(3) 2013/04 SKY SCS2000
(1) 2014/8 HHGSMC SCS3000
PST Wafer sorter
(2) 2010/01 UMC8A DP2200SI/INX
(6) 2010/10 TSMC6 DP3200SI/INX
(1) 2013/02 VIS2 DP2200SI
(1) 2013/04 SKY DP1200SI/INX
(1) 2014/01 UMC8E DP3200SI/INX
(11) 2014/06 SMIC15 DP2200SI/INX
(5) 2014/08 TSMC10 DP3200SI/INX
Instrument mini-environment:
Clean air
Over-pressurization in robotic handling areas
Wafer Handling / Identification:
(2) Pods / Cassette
Cassette scanning with cross-slot detection
Vacuum probes with wafer edge detection
Automatic wafer on probe centering
Optical, non-contact, Flat/Notch finding with eccentricity correction
Supports COGNEX 1721/1741/WinOCR32/AcuReader3/WinNT system
User Interface:
Small-size PC style keyboard
Optional: SECSII/GEM interface
UI: WINDOWS XP
Wafer and system damage preventions:
Pod / Cassette in place sensing
Cross slot detection
Vacuum sensing electronics
UPS / Vacuum reservoir system
Optional wafer out of cassette sensing
Cleanliness:
Class M1 (0.01 particles at 0.02 micron per pass)
Flat / Notch finder accuracy:
± 2.0 degrees in theta
± 1 mm in centering
Vacuum: 23 ± 3 inches Hg (-0.7 x 105 Pa = 20.7 inches Hg)
Temperature: 23° ± 3°C (73.4 ± 5.4°F)
Power requirements:
100–120 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum
200–250 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum.
ASYST DP2200SI Wafer Handler是一種超精確傳輸設備,旨在方便半導體晶片在一系列應用中的移動。它擁有先進的驅動系統，可以沿著x、y和z軸精確控制，使得晶圓運輸過程中的可靠性達到最高標準。其精密的控制器允許與現有晶圓加工生產線合並，提供與各種制造設備的無縫集成。在尺寸上，運輸單元緊湊卻能處理直徑達115mm的基板。它專為加工雙面晶片而設計，因此半導體晶片的生產可以最大化，從而提高吞吐量和效率。在安全方面，運輸機器設計有保護性的內部結構，以防止晶片與外部零件接觸，確保晶片保持無汙染。這也確保在處理過程中不會對晶片造成損壞。該工具具有廣泛的適應性工具，使其適合各種應用。這些工具是可互換的,在設置和執行過程中具有最大的靈活性。此外，資產還配備了監測檢查設備，提供額外的安全和準確性。DP2200SI Wafer Handler是一種高效的機器,采用業界領先的精密技術進行設計,以最大限度地提高晶圓的產量。它需要最低限度的維護,並提供完全自動化的過程,這意味著只需極少的操作員幹預即可處理生產。更有甚者，機器過於安全可靠，防止了晶片的損壞和汙染，使得這臺機器異常有效。
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