二手 ASYST INX 2200 EXT #9103790 待售
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ASYST INX 2200 EXT晶片處理程序是一種自動化、靈活、可靠的晶片處理設備,專為高吞吐量和高效生產基本線性和隨機任務而設計。該系統設計用於一次處理多達25個晶片,提高晶片處理時間和精度。該單元由一個帶有晶片載荷臂的機器人臂、一個水平載荷口和一個由圖形用戶界面控制的機械臂機組成。機器人臂由直觀、用戶友好的GUI控制,使操作員能夠快速、輕松地設置處理參數並命令機器人序列。機器人手臂由步進電機驅動,能夠達到高達每分鐘24米(m/min)的速度。機器人臂配有載荷臂,能夠攜帶多達25個晶圓,從而實現高效、精確的晶圓對準和轉移。負載臂設計為易於調節,可針對特殊晶圓夾具進行改裝。該工具還包括一個水平載荷端口,該端口允許加載、卸載和傳輸處理過的晶片。負載端口與各種晶片盒帶和盒帶支架兼容,設計為一次高效傳輸多達60個晶片。負載端口連接到機器人手臂,由皮帶和滑輪資產驅動。該模型還包括集成過程控制,允許用戶監控加工條件和加工晶片的質量。板載數據記錄器允許用戶快速查看和分析流程數據並設置自動化流程。設備包括內置的安全功能,如檢測到非操作狀態時自動關閉和無接觸式安全傳感器。INX 2200 EXT晶圓處理程序是一個可靠而健壯的系統,可以執行高吞吐量和精確晶圓處理任務。該設備用戶友好的GUI、快速的處理速度和最多可攜帶25個晶圓的能力,使其成為大批量生產環境的理想選擇。該機器適用於廣泛的應用,包括半導體晶圓制造和光刻。
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