二手 ASYST INX 2200 #293588012 待售

ASYST INX 2200是一種晶片處理器，旨在將晶片移動、對齊、轉移到各種半導體製造加工工具中，例如光刻、蝕刻、沈積工具。ASYST INX2200有兩個由4個步進電機驅動的線性傳輸機構。它能夠以1.0米/秒的最大晶圓處理速度運行，最大傳輸速度為6米/秒。晶圓尺寸從3英寸到8英寸不等，最大重量容量為2公斤。INX-2200具有多種內置的安全功能,包括在晶圓未達到傳輸目標時啟動的自動關閉機制,以及停電保護系統。此外，該單元還配備了晶圓中心裝置，可以旋轉和定位晶圓，以確保晶圓的精確處理。還包括一個利用定心導軌的晶片加載系統，以確保將晶片精確放置到刀具中。ASYST INX-2200配備了多種控制系統和運動控制器，使其能夠集成到各種各樣的半導體加工工具中。這樣就可以對設備及其功能進行精確和自動化的控制。控制系統還便於跟蹤晶圓傳輸，以便能夠報告過程控制和統計過程控制所需的數據。除了晶圓處理能力外，INX 2200還可以進行晶圓分離對準，以及工藝室空氣過濾。這包括使用潔凈室過濾器清潔空氣，防止晶圓受到汙染。這種過濾也有助於降低顆粒物汙染的風險。INX2200采用模塊化結構設計,便於安裝、維護和升級。它還支持大型系統集成，如多腔室系統，其最先進的技術允許單元進行精確的晶圓處理操作。總體而言，ASYST INX 2200是一款可靠、精確的晶圓處理器，旨在滿足半導體加工操作的苛刻要求。其先進的控制系統和安全特性以及模塊化結構使其成為高精度晶圓處理應用的理想選擇。