二手 ASYST INX 2200 #9175219 待售

ASYST INX 2200是專門為半導體制造應用而設計的自動化晶圓處理設備。它旨在實現晶片在加工室之間的高效和準確傳輸，從而提高吞吐量和提高產量。該系統包括兩個主要組件：晶片裝載機和晶片載波.晶片裝載機用於將晶片準手動裝入晶片托架。然後，晶片載體在垂直平面或水平面上穿越設備，使其能夠到達操作平面上方和下方的腔室。該工具裝有四個垂直場線圈和兩個安裝在垂直平面上的旋轉傳遞臂。這些線圈和臂允許晶片精確定位在晶片處理夾具內。機器裝有全自動晶片掃描，執行一系列掃描和佐證步驟，以驗證晶片處於可接受的使用條件。掃描設計用於檢測扭曲或破裂的晶片、顆粒、汙染和任何其他缺陷。掃描和批準後,晶片會自動加載到晶片載體上,並準備好進行傳輸。ASYST INX2200中晶片的轉移是使用兩個獨立的晶片卡盤完成的，這些卡盤配有力敏感探頭。探頭感應晶片的位置，因為它是從源被提起，並降低到目標。源和目的可以位於同一個會議廳或單獨的會議廳。晶片卡盤還具有附加的自停用功能,以確保晶片牢固地固定在源位置和目標位置。INX-2200非常可靠，易於維護。它配備了故障診斷工具，便於識別和隔離任何問題。該工具還包括各種安全功能,如聯鎖,可防止資產在正確設置所有參數之前開始操作。ASYST INX-2200是高度可配置的,可以定制以滿足每個應用程序的特定要求。它還具有直觀的圖形界面,便於學習和使用。總體而言，INX 2200是為高精度、高產晶圓應用而設計的先進晶圓處理模式。它提供了一種可靠、高效、準確的方法，用於在工藝室之間傳輸晶片。它配置性強，適合各種不同的應用，易於維護和操作。