二手 ASYST IsoPort #146783 待售

ASYST IsoPort是ASYST Technologies創建的晶圓處理程序，用於集成電路（IC）晶圓的移動和處理。IsoPort由許多不同的組件組成,這些組件都包含在一個獨立的單元中。ASYST IsoPort是一個由兩個主要組件組成的機器人單元-轉移機器人和處理程序機器人。轉移機器人有六個獨立的鉸接臂和一個冷凍真空。這是用來將IC晶片從一個生產站運輸到集成生產線上的下一個生產站。處理程序機器人利用五個高度可靠的鉸接臂將IC晶片從轉移機器人移動到晶片裝配區域。IsoPort的主要目標是精確、準確和靈活。因此，ASYST IsoPort具有晶圓圖像識別設備，可以識別每個托盤上包含的晶圓數量，並檢測基板中存在的任何異常。這樣可以確保晶片能夠快速準確地傳輸和處理。IsoPort還在機箱內擁有獨特的紅外溫度控制環境。這樣可以進行溫度敏感操作,例如粘合,而不會損壞敏感晶片。機器人被編程為在轉移或處理晶片時產生快速反應和「軟」處理，以確保基板完整性不受損害。ASYST IsoPort還配備了三維映射系統，使機械臂能夠準確定位晶圓。映射單元最多可以存儲四種不同的生產配方,並允許用戶為每個生產運行定義單獨的映射選項。最後,IsoPort的設計考慮到了易用性。ASYST IsoPort的用戶界面有小的圖形圖標，可以用來輕松控制機械臂。操作員還可以一目了然地以圖形顯示的形式檢查整個生產機器的生產狀態。總體而言,IsoPort是一款非常先進的高級晶圓處理程序,可為IC晶圓制造提供精確、精確和靈活性。它利用冷凍真空、圖像識別、溫度控制、制圖和圖形用戶界面等多種技術，確保晶圓操作和處理高效進行，不會對敏感基板造成任何損害。