二手 ASYST IsoPort #293649502 待售

ASYST IsoPort是一款晶片處理程序，旨在方便半導體晶片進出真空處理工具。它是一個非接觸、非真空、掃描的晶片加載站，可容納6英寸和8英寸晶片。IsoPort的主要特點包括一個專利的矽尖端，它是一個軟的，彈簧的微米尖端，在其正面（淺）邊緣接合晶片，以及一個創新的熱掃描儀機制，映射晶片尺寸。這樣就可以機械地調整到不同的晶片尺寸，並提供安全、可靠的晶片進出真空加工工具的傳輸。ASYST IsoPort有一個專用的100微米大小的間隙，用於一次傳輸單個晶圓，不需要任何預先對齊或使用工具。取而代之的是，它依靠映射的熱掃描儀數據在晶圓高速傳輸時保持精確的位置登記。晶圓處理程序使用彩色觸摸屏顯示屏與其主機設備進行通信，用戶可以在其中進行控制和監控。IsoPort信號板還提供了在傳輸過程中可能發生的腔室鎖定和卸載錯誤的直接直觀指示。這使操作員能夠快速識別和糾正錯誤。晶圓處理程序設計用於最小的地板空間,同時允許用戶根據需要輕松調整模具和更換組件。ASYST IsoPort的不銹鋼內部也允許它處理化學侵略性的液體，並測試暴露在嚴酷溫度下的晶片。為了確保系統的最大正常運行時間,IsoPort具有各種內置設備診斷程序,包括監控和報告錯誤的自我診斷風扇。它還包括一個集成閉環反饋機與實時傳感器更精確的校準和實時熱電偶精確熱傳遞晶圓。總體而言,ASYST IsoPort是一款多功能晶片處理程序,旨在提供可靠的性能和快速的晶片傳輸。其創新的熱掃描儀和基於傳感器的反饋系統允許在傳輸過程中精確定位，並允許用戶實時監控該工具。IsoPort的設計目的是提供最大的資產正常運行時間和最小的占用空間設置。