二手 ASYST IsoPort #293768262 待售

ASYST IsoPort是用於生產半導體的自動化晶圓處理設備。該裝置設計用於處理各種尺寸的晶片（包括6英寸和8英寸晶片），並將其放入工藝室。IsoPort由不銹鋼構成，為晶圓傳輸提供穩定、安全、安全的環境。該設備能夠以每小時124晶圓的速度運行，平均傳輸速率為每小時90晶圓。該裝置的設計包括一個真空系統，有兩個階段，即拾取和放置晶片。這些階段包括控制過程速度的驅動電機和負責抓取晶片的真空頭。後一個組件設計為與任何前開口統一吊艙（FOUP）或扁平盒式磁帶兼容。ASYST IsoPort為粒子計數、氣溶膠、濕度和溫度等所有關鍵過程參數提供低顆粒環境。該裝置采用超潔凈的內部設計，並配有用於探測顆粒的室內照明裝置。IsoPort上的空氣濾清機使用高效顆粒物空氣（HEPA）濾波器來最大限度地控制顆粒物。晶圓處理機器人的設計進一步提高了晶圓處理過程的安全性。機器人擁有專用的運動光學系統，提供三軸傳感工具，能夠高精度識別物體。此資產包括一個可識別晶圓形狀、大小和方向的視覺傳感器,以及一個激光測距儀,用於測量機器人端效應器與晶圓之間的距離。機器人可以檢測任何異常情況，並立即停止，以避免損壞晶圓。ASYST IsoPort配備了專為不間斷運行而設計的高效容錯控制模型。此功能可確保晶片處理程序能夠通過電源故障、通信錯誤和環境幹擾來運行。此外,該設備還具有直觀、用戶友好的控制界面,可以從計算機或控制控制臺遠程進行控制。總體而言，IsoPort是處理各種尺寸晶片的高效、可靠、安全的設備。該設備能夠每小時處理100多個晶圓,並且可以為晶圓傳輸提供安全穩定的環境。ASYST IsoPort配備了各種安全功能，以保護晶片免受在處理過程中可能遇到的損壞或其他潛在危險。該裝置還設計了高效的容錯控制系統和用戶友好的控制界面，使其適合各種應用。