二手 ASYST IsoPort #293793872 待售

ASYST IsoPort是一個晶圓處理程序，旨在使半導體晶圓通過半導體制造過程所需的隔離階段。它的特點是具有集成壓力傳感器的介電屏障，允許晶圓在整個隔離過程中保持在原位。IsoPort的設計目的是提供精確的隔離,具有令人印象深刻的+/-1.5°C的重復性和0.1°C的移動分辨率。晶圓處理程序配備了氣動驅動的全範圍運動臂，用於通過隔離步驟定位晶圓。ASYST IsoPort還具有定制設計的主動熱平衡系統,可在晶圓的整個隔離過程中實現精確的溫度控制和均勻的加熱/冷卻。此外，IsoPort提供了非凡的可靠性，能夠在極端條件下運行，如高能沈積和寬熱梯度。此外，晶圓處理程序與所有現有半導體工藝設備兼容，並與臭氧和高通量工藝室兼容。憑借其先進的功能,ASYST IsoPort在制造最先進的半導體器件方面提供了最佳的結果和卓越的性能。