二手 ASYST IsoPort #9128307 待售

ASYST IsoPort是一種晶圓處理程序,設計用於自動晶圓處理系統。IsoPort提供了一種在前開口統一吊艙（FOUP）中傳輸晶片的高度準確可靠的方法。ASYST IsoPort采用緊湊的設計,可輕松集成到現有系統中,輕巧的設計有助於節省寶貴的空間。IsoPort配備了專利隔離技術，有助於保持晶片裝卸作業的清潔和無汙染。它具有集成的靜電放電（ESD）保護設備,以防止在操作過程中損壞敏感部件。該裝置由功能強大、可靠的控制系統軟件控制，可根據每一個安裝的具體需要量身定制。ASYST IsoPort包括一個真空盒式傳輸單元（具有標準的潔凈室兼容性），以優化晶圓傳輸和定位。此外,集成的easyFOUP界面使用戶能夠直接從晶圓處理系統中的各種流程工具控制IsoPort。ASYST IsoPort的設計和設計旨在確保最佳清潔、安全和可靠性。其先進的固態機器提高了性能,並為自動化晶圓處理系統的苛刻要求提供了高度可靠、低維護的解決方案。IsoPort使用閉環反饋傳感器監視和控制吊艙的位置，以提供晶圓的精確處理。該單元配備了一個室外適配器，設計用於室外安裝，為用戶和晶圓處理工具上的流程提供額外的保護。ASYST IsoPort是大型晶圓處理系統的理想解決方案。IsoPort的創新功能和較小的占地面積使其適合從研發到半導體制造和測試等一系列應用。