二手 ASYST IsoPort #9189356 待售
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ASYST IsoPort是一款高級遙控機器人晶圓處理器,專為高級半導體應用而設計。IsoPort是一種多功能晶圓處理設備,具有非對稱負載端口和類似範圍的低EMI、高精度運動技術。該系統允許多個大型晶片在廣闊的工作區上快速、準確和獨立地移動。ASYST IsoPort是一個氣動驅動單元,能夠以每小時54個晶圓的速度處理高達1,500毫米的方形晶圓。它由天花板和地板可安裝組件構成,為用戶提供對晶圓路徑的終極控制。IsoPort利用獨特的步進電機技術,允許以最小的振動和抖動精確定位和處理晶片。該機先進的數字伺服電機技術確保了低噪聲、低振動的精確、高速運行。ASYST IsoPort得益於ASYST專有的靜電保護(ESP)技術。與所有機器人操作單元一樣,它的設計和制造采用了最佳的接地和運動隔離,以減少靜電荷並使粒子遠離敏感設備和過程。該工具還配備了測量晶片方向的運動學,並進行快速調整,使其始終保持完美對準。IsoPort的設計旨在滿足半導體加工中不斷增長的高生產率晶圓處理任務的需求。其堅固的結構和持久的組件在廣泛的操作環境中提供卓越的性能和延長的耐用性。該資產還與先進的控制軟件集成在一起,該軟件提供全面的實時監視和數據記錄功能,使用戶能夠快速識別和診斷晶圓處理模型中的任何問題。綜上所述,ASYST IsoPort是一款卓越的遙控機器人晶片處理程序,能夠以每小時54個晶片的速度處理各種方形晶片。它配備了先進的運動技術和靜電保護,以減少靜電荷。此外,此設備的機器人處理功能還與復雜的控制軟件集成在一起,該軟件提供監控功能和數據記錄,使用戶能夠快速識別和診斷任何問題。
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