二手 ASYST IsoPort #9194229 待售

ASYST IsoPort是一種靈活可靠的晶圓處理設備，旨在提高半導體制造工藝的效率。它建立在先進的ASYST VTensor平臺上，為晶圓映射、分類和封裝的自動化提供單系統解決方案。該裝置設計用於快速、精確地處理晶片，從2英寸的小晶片到6英寸以上的晶片，直徑可達200毫米。IsoPort提供了處理和處理晶片的高級功能。其高精度定位技術提供高達0.25微米精度的可重復、精確的運動。特別是在使用較小的特征大小時。該機器還提供獨特的專利技術，以確保顆粒面積的分布和無過渡的刀具操作。ASYST IsoPort的空氣軸承平臺和集成真空資產使晶圓的精密處理具有最小的粒子生成能力。模型的均勻氣流防止塵埃顆粒堆積，確保嚴格的汙染控制條件。此外,利用快速的處理時間和較短的流程周期,可以實現較高的吞吐量.該設備還提供用於高級工藝優化的工具，例如「晶圓映射」，它顯示每個晶圓層的模式，以確保工藝控制。此外，它的智能機械臂允許變化的速度控制，提供精確的運動和高分辨率的每一個操作。而且，它的「Trapbox」技術防止碎片晶片在潔凈室環境中漂浮。IsoPort晶圓系統非常可靠,可提高成本效率。憑借其靈活、自動化的單元，可以在步驟中納入多個流程，以多種方式惠及用戶。結果，機器提高了工藝質量和生產產量，同時將產量損失降至最低。ASYST IsoPort非常適合跨多個行業的關鍵半導體制造環境中的高性能應用。