二手 ASYST IsoPort #9199614 待售

ASYST IsoPort是設計用於半導體制造過程的自動化晶圓處理設備。它能夠快速地將晶圓從一個點轉移到另一個點，並且晶圓變形最小。系統可以處理各種類型的晶圓，如圓形、正方形和矩形，直徑可達12英寸。設備可以完全自動化或手動控制,以獲得最大的靈活性。IsoPort機器由幾個模塊組成，包括一個無柵格晶片傳輸工具、一個集成的prober、一個晶片裝載機和卸載機，以及一個ELV-ASYST IsoPort溫度控制器。晶圓傳輸資產可以同時處理單個和多個晶圓批次，設計用於保證晶圓傳輸時的低角度、低振動運動。它由高效步進電機操作,還包括集成的ASYST晶圓體積壓力（WVP）功能,可補償運輸過程中晶圓厚度的任何變化。整合式探頭由機械手臂和石英門組成，通過減少灰塵和其他顆粒進入腔室的可能性，提供了一個清潔的環境。Prober能夠在每個循環中傳輸多達六個晶片，並且可以用於各種串聯測試程序，如表面質量評估和電氣測試。ELV-IsoPort溫度控制器設計用於精確控制和監控晶圓傳輸過程中的溫度。它具有主動冷卻模型,可用於在單個循環中測量表面溫度和內部晶圓溫度。最後，晶片裝載機和卸載機作為晶片傳輸設備和集成裝置之間的緩沖區。它旨在提供最大的靈活性,並保持溫度以獲得最佳性能。綜上所述,ASYST IsoPort是一個用途極為廣泛、效率極高的自動晶片處理系統,能夠通過高度精確和一致的運動傳輸和/或測試各種直徑可達12英寸的晶片。結合集成模塊、溫度控制和高科技晶片裝載機/卸載機,確保最大吞吐量,同時將晶片變形降至最低。