二手 ASYST IsoPort #9213030 待售

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製造商
ASYST
模型
IsoPort
ID: 9213030
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Load port, 12" Dual (DFIMS) 2005 vintage.
ASYST IsoPort是ASYST Technologies開發的SEMI S2兼容晶圓處理程序。它非常適合在從半導體制造到測試的各種應用中快速可靠地處理半導體晶片。IsoPort設備配備了多種沈積、蝕刻、檢驗和測試的工藝工具。其先進但易於使用的機械臂能夠在整個工藝區域內移動晶片。該系統采用最少的操作員幹預設計,可以由任何人快速設置和操作,無論其經驗如何。晶片處理程序利用帶有可移動托盤和蓋的安全旋轉臺,以確保晶片在工藝模塊之間的安全傳輸。每個托盤的設計都能夠安全地安裝和高速移動晶片,並確保整個過程中晶片的完整性。托盤裝有標準尺寸的晶片,可以裝有定制尺寸的托盤,以容納不同尺寸的晶片。安全旋轉臺的設計目的是在處理過程中從處理程序的外邊緣旋轉,從而最大程度地減少汙染。ASYST IsoPort晶片處理程序由高度耐用的元件和材料制成,以確保不同的工藝可靠性。其靈活的設計使維護方便,能夠快速更換磨損的零件。它還包括一個獨特的熱剖面控制單元,確保晶片均勻加熱,非常適合需要精確溫度控制的過程,如介電沈積。IsoPort晶圓處理器配備了兩條輸送帶和專用機動臂,用於高速、自動裝卸晶圓。這樣可以確保最佳吞吐量和一致的結果。這也允許微調傳送帶和臂的運動,提供完全的靈活性和晶片的可編程運動。它還配備了多項安全功能,包括一臺E-stop機器,可以在緊急情況下停止整個工具。ASYST IsoPort晶圓處理程序具有一系列直觀的功能和強大的數據分析功能。它具有存儲流程和歷史數據的全面的內置數據庫,可以下載、查看和解釋這些數據庫,以提高流程的可見性和效率。該資產還具有強大的軟件控制視覺模型,允許您自動檢查晶圓、識別缺陷並啟用日誌報告。總體而言,IsoPort晶片處理程序經過精心設計,能夠快速高效地處理晶片。其先進的技術、增強的設計和強大的工具使其成為任何半導體晶圓廠或測試設施的理想選擇。
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