二手 ASYST IsoPort #9249554 待售

ASYST IsoPort是為半導體加工工具自動化而設計的集成晶圓處理程序。這臺機器是為在潔凈室環境中運輸裸露和加工過的半導體晶片而設計的。它能夠將晶片從其負載端口直接傳輸到各種操作工具，如單晶片工藝室。IsoPort使用多達八個機械臂、高質量、空氣神秘和電離系統的組合，可以快速安全地將晶片從一個站移動到另一個站。此外，機器還配備了自動校準系統，允許它在必要時快速調整其晶圓抓地力。ASYST IsoPort還配備了ISO 4級潔凈室等級，非常適合超清潔和汙染控制環境。它能夠在一個周期內傳輸多達25（25）個晶圓，最高周轉率為每小時一百五十（150）個晶圓。此外,它還采用了標準的SiC（碳化矽）塗層,並配備了適當的多點晶圓檢測系統,可確保在每個加工周期之前準確識別晶圓。此外,IsoPort還配備了一套氣體傳感器,使操作員能夠更準確有效地監控和控制過程中的氣體。它還有一個粒子監控器，讓操作員能夠很容易地檢測到潔凈室大氣中的粒子、碎片和其他汙染。此外，還提供盒式磁帶到盒式磁帶的功能，使機器能夠集成到現有的自動化生產線中。最後,ASYST IsoPort采用先進的運動控制技術和先進的自動化軟件,旨在減少停機時間、成本和環境影響。其用戶界面包括直觀的圖形用戶界面（GUI），它提供了快速準確地設置和操作機器所必需的信息。它還具有安全傳感器和特殊的處理行為，以盡量減少運輸過程中晶片受損的風險。