二手 ASYST IsoPort #9255526 待售

ASYST IsoPort是一種自動化晶片處理程序,旨在快速、精確地在多個晶片處理工具之間移動晶片。它是半導體制造、MEMS器件處理、光學器件處理等應用的理想解決方案。此晶片處理程序基於一個完全可擴展、高度可靠的平臺,可提供卓越的性能。它提供了工具和過程模塊之間的快速轉換,同時為最高質量的結果提供了可靠的環境。IsoPort使用具有直接驅動技術的X/Y軸位置系統，以保證晶圓最大200 mm的精確處理。X/Y軸允許更快的晶片移交和轉換,以及圍繞多級位置自動移動,包括用於去除和放置晶片的深垂直Z移動。其集成的升降臂技術由於機組的高速磁頭速度而減少了循環時間，能夠同時攜帶多個晶圓（最多4個）。用戶界面包括一個直觀的圖形用戶界面（GUI），允許操作員自定義和管理自己。ASYST IsoPort作為其系統的一部分提供遠程服務功能和診斷。IsoPort采用模塊化概念設計,允許用戶輕松定制配置以滿足每個應用程序的不同需求。這款晶圓處理程序還設計用於提供最大的潔凈空間兼容性,並具有輕型窗簾和被動ESD保護等功能。ASYST IsoPort晶片處理程序的設計目的是通過在最短時間內最大化工具之間傳輸的晶片數量來最大化生產率。它還旨在最大限度地減少周期中使用的時間,同時提供精確的結果。其他功能（如位置和負載參數的數據記錄）允許詳細的可追蹤性。由於安全是任何設備處理過程中的一個重要因素，IsoPort晶片處理程序有多種故障安全機制，如晶片的自動檢索能力和專用的防塵過濾系統。此晶片處理程序可在最困難的環境中工作和工作,並確保提供更高的效率、更快的處理速度和更高的清潔度。