二手 ASYST IsoPort #9255530 待售

ASYST IsoPort是一款用於半導體制造過程的高精度、低粒度晶圓處理器。它旨在在苛刻和苛刻的過程環境中提供可靠、準確和可重復的操作。IsoPort晶圓處理程序的主要組件包括多站機械臂、晶圓傳輸設備和晶圓存儲系統。ASYST IsoPort的機械臂配備了定制端效應器，能夠在選定的工業和低溫環境中安全處理和精確放置晶片。手臂由電動機驅動，使用專利的低振動伺服驅動器，以盡量減少振動、除氣和粒子產生。晶圓傳輸單元使用線性電動機模塊在工藝周期中精確地將晶圓放置在指定的點上。晶圓存儲機由一臺計算機管理的旋轉木馬式庫存組成，為操作員提供高效、方便的晶圓訪問。IsoPort晶圓處理器的主要優點是可重復性、精度和緊湊的設計。機器人裝置提供了端部效應器的精確和可重復的定位，其低振動伺服驅動最小化汙染。晶圓傳輸工具精確且可重復，即使在高速下也能精確地運輸和放置晶圓。最後，它的緊湊設計使它能夠在工業和低溫環境中很容易地適應狹窄的空間。ASYST IsoPort晶圓處理程序設計為提供高效的操作和耐用性。它配備了冗余聯鎖和防撞傳感器，以保護其及其部件免受損壞和汙染。最後,它的不銹鋼和塑料設計以及密封、熔融和屏蔽的環境可減少氣體排放和汙染,並有助於保護部件,即使在要求最苛刻的應用下也是如此。