二手 ASYST IsoPort #9255532 待售

ASYST IsoPort是為半導體和微電子加工中的工業自動化應用而設計的晶圓處理器。它是一種模塊化晶圓處理設備，可以定制以滿足任何應用的特定需求。IsoPort可以在安全無汙染的環境中，從晶片加載到晶片卸載，精確地運輸、對準和檢查晶片。ASYST IsoPort基於模塊化設計,可以根據用戶的需求定制其組件。核心部件為轉移機器人，可處理直徑達25厘米的晶片；機器人制導系統，提供機器人的精確對準和制導；和架空CAE，支持晶片裝卸進出IsoPort晶片室。另外一個可選的附件是一個檢查單元，它提供了一個自動視覺機器，用於發現晶圓上的缺陷或分析特征。ASYST IsoPort還提供了一系列安全功能，如圓角和光滑表面，以減少受傷風險，以及一個防腐蝕安全門，以保護人員和晶片免受汙染。晶圓處理工具也是防塵、密封的，並且在晶圓室內有防塵資產，以確保晶圓在處理時無汙染的環境。IsoPort也節能，配有低功率步進電機和無刷線性執行器，可精確移動，降低能源成本，確保操作更安靜。ASYST IsoPort還提供了可配置的軟件模型,允許用戶根據自己的特定需求自定義IsoPort設置。這允許用戶優化流程流程,提高吞吐量,並確保可靠、可重復的流程。總體而言，ASYST IsoPort是工業自動化和晶圓加工的理想晶圓處理設備。它的模塊化設計、可配置的軟件和一系列安全功能使用戶能夠根據自己的確切需求對系統進行定制，而其能效和防塵環境確保用戶擁有一個可靠、無汙染的單元來處理精致的晶片。