二手 ASYST IsoPort #9298304 待售
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ASYST IsoPort是為高吞吐量操作而設計的精密晶圓處理設備。它配備了獨特的自動裝載機/卸載機以及各種工具選項。憑借其易於使用的設計,能夠進行快速高效的晶圓傳輸或移動。IsoPort具有集成的機械臂,可支持300 mm晶圓尺寸。該臂具有四個自由度(DOF),可實現更大的運動範圍,並安裝在碳鋼底盤上以實現穩定性和減振反饋。手臂由無刷直流伺服電機驅動,能夠以高達1200磅的力移動物體。精密電機控制確保了準確、平穩的運動,ASYST IsoPort可支持多種包裝尺寸和材料。IsoPort具有閉環控制系統,可實現最大精度和可重復性。這個先進的單元利用內置的視覺機器來增加跟蹤精度。機器人可以被編程為最多放置三個獨立的刀頭,每個刀頭能夠執行拾取和放置操作。ASYST IsoPort還具有用戶友好的圖形界面和自定義軟件的功能。IsoPort旨在提供最大程度的安全性和可靠性。它具有自動保護功能,當障礙物靠近機器人的抓鬥點時,它會阻止機器人。這是為了保護機器人和晶圓。ASYST IsoPort還使用安全機制監測操作員的接近程度以及裝卸作業的完整性。此外,IsoPort還配備了專有的主動減振技術和低噪聲操作,用於更安靜的操作。它還具有易於集成和維護的模塊化體系結構,並經過UL和CE的測試和認證。ASYST IsoPort是一種多功能工具,旨在滿足大容量晶圓處理操作的需要。它提供了速度、精度和出色的可重復性,使其成為各種應用程序的理想工具。IsoPort具有用戶友好的設計和創新功能,是任何晶圓處理操作的寶貴資產。
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