二手 ASYST IsoPort #9390006 待售

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製造商
ASYST
模型
IsoPort
ID: 9390006
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Load port, 12" 2005 vintage.
ASYST IsoPort是一個機器人晶片處理程序,設計用於通過自動晶片處理設備傳輸晶片。該機器人晶片處理程序經過優化,可提供精確、可重復、可靠的加工晶片傳輸。它具有機械龍門系統和計算機控制的運動控制單元。龍門機由3個軸構成,提供機器人三個維度的精確運動。機器人運動由步進電機和伺服電機技術驅動,以確保一致的刀尖精度和可重復性。該工具利用視覺引導臂將晶片定位並放置在工具床上。視覺引導臂在操作前也會驗證晶圓的形狀和大小。計算機控制的運動控制器被編程為控制機器人的速度、加速度和減速等運動。這允許自動機為每個處理操作選擇適當的速度和速度。也可以將其編程為根據可編程限制調整這些速度和速度。IsoPort設計用於各種晶圓大小和類型。它既可容納圓形晶片也可容納扁平晶片,可用於在刀床、清潔處理單元和單晶片傳輸系統之間傳輸。ASYST IsoPort設計用於高溫環境中安全高效的晶圓處理。資產配備了一個安全臂,自動放置在每次處理操作的開始和結束。這將有助於通過防止事故來降低對機器人或晶片造成損害的風險。此外,該模型還配備了自動屏蔽設備,可立即關閉安全臂以保護機器人和晶圓,以防發生任何故障。IsoPort專為方便維護和維修而設計。系統配有診斷單元,可以檢測操作人員並向其發出任何潛在問題的警報。機器還提供了如何對機器人進行維修和調整的詳細說明。總體而言,ASYST IsoPort晶圓處理程序是一種高度先進的機器人工具,可提供精確、可重復和可靠的處理晶圓傳輸。它專為便於維護和維修而設計,能夠安全高效地處理各種晶圓大小和類型。
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