二手 ASYST / LAM RESEARCH 4620 / 1150 #9182138 待售

ASYST/LAM RESEARCH 4620/1150晶圓處理程序是一種用於晶圓制造材料處理和過程自動化的機器人設備。它是一個「車輪立方」平臺，設計用於在高達140 °C的高溫下運行。它也被歸類為「潔凈室等級」系統，這意味著它被設計為在1,000類潔凈室環境中運行。晶圓處理器連接到架空的CAE單元，並配有垂直升降機，使其能夠在過程中精確定位和拾取晶圓進行運輸和操縱。處理程序包括一個可以操縱晶片的機械臂，以及用於將晶片移入和移出該過程的傳送帶。另外，晶圓處理器配備了升降-傾斜-轉移（LTT）機制，使其能夠將晶圓從架空CAE轉移到機器人手臂，以及從機器人手臂轉移到傳送帶，反之亦然。LTT機構由高精度的機器人控制機控制，提供晶圓的精確定位。此外，ASYST 4620/1150晶片處理程序還配備了先進的激光晶片跟蹤工具，用於檢測晶片的位置，以及與其他工藝設備，如負載端口模塊、晶片盒式系統和熔爐系統集成的能力。它還可以與工廠自動化資產連接，用於監視和控制整個晶圓制造過程。總體而言,LAM RESEARCH 4620/1150晶圓處理程序是一種高效且先進的機器人模型,能夠在清潔室環境中執行多個晶圓處理操作。它提供了晶片精確、可重復的定位，適合與其他晶片制造設備和系統集成。