二手 ASYST LPI 2200 #9277986 待售

ASYST LPI 2200是一款前沿機器人晶圓處理程序。它專為快速、可靠、精確的晶圓處理而設計。LPI 2200設計用於處理濕法和幹法處理系統中的多種應用。其特點包括自動晶片處理、自動卡帶/船裝卸、鎖載站，以及其驅動和輸送能力。ASYST LPI 2200的底座由一個堅固的機械框架組成，該框架容納機械臂、電源及其獨特的驅動和輸送組件。此功能可幫助設備在機器人執行工作序列時保持較高的可重復性和準確性。該單元的機械臂配備了力敏感端效應器（FSEE），可進行精確的晶圓處理。手臂配備了4個自由度，意味著它可以根據需要到達、旋轉、傾斜和向後傾斜。LPI 2200使用靈活的輸送機系統在其Load-Lock站和客戶提供的盒式磁帶或船之間快速傳輸晶圓。輸送裝置還有助於機器人準確地將晶片從一個站移動到另一個站。機器的整體驅動工具配備了先進的伺服電機和編碼器資產，以確保可重復和準確的排序精度。ASYST LPI 2200的Load-Lock工作站設計用於將晶片從盒式磁帶或船只快速安全地移動到機器人手臂。該站配備了智能晶片識別模型，使機器人能夠在裝卸前輕松識別晶片。Load-Lock站還能夠一次處理多達兩個盒式磁帶或兩艘船，而其壓力控制設備有助於防止在裝卸過程中對晶圓部位造成任何損壞。綜上所述，LPI 2200是一種可靠、精確和高度靈活的晶圓處理程序，可用於多種過程。該裝置設計有堅固的機械框架、精密的機械臂、輸送系統和可快速高效處理晶圓的負載鎖定站。其先進的伺服電機和編碼器單元進一步提高了晶圓定位精度。ASYST LPI 2200是滿足任何晶圓處理需求的可靠且高效的解決方案。