二手 ASYST LPO 2200 #293630337 待售

ASYST LPO 2200是一款用於半導體晶圓加工的晶圓處理器，旨在滿足最先進的半導體制造工藝的嚴格要求。該晶片處理程序的設計旨在提高工藝流程和吞吐量，同時提供最大的設備靈活性。LPO 2200能夠傳輸直徑達十二英寸的晶片，最大載荷容量可達700公斤。該處理器配備了耐用的單元雙鎖結構，配有雙高精度導軌和集成彈簧加載的晶圓操控臂，使其在操作上極為通用，因為它可以很容易地適應不同的晶圓尺寸和形狀。ASYST LPO 2200具有集成的控制系統,可輕松控制晶圓處理臂,並提供從外部來源傳送和接收數據的功能。該裝置采用經過驗證的伺服技術，具有高精度編碼器反饋，以確保晶片處理臂相對於晶片表面精確對準。LPO 2200包括一臺集成的晶片調平機，該機監視正在處理的晶片的角度，並保證加工後的晶片在設備水平上的均勻對齊。這種控制水平對於先進的過程（例如化學機械平面化）至關重要，因為它保證加工後的表面保持均勻且不傾斜。處理程序還配備了一個防熱工具，防止晶圓過熱，因為在加工階段長時間暴露在高溫下。熱保護資產能夠以毫秒為單位對晶圓溫度的變化作出反應，以防止晶圓受到任何進一步的損害。最後，ASYST LPO 2200配備了先進的視覺模型，設計用於檢測晶圓實際位置和晶圓所需位置之間的任何可能的差異。這樣可以確保啟動的進程與晶片表面正確對齊,並避免任何過程結果不合格的風險。總而言之，LPO 2200是一款用於半導體加工的高性能晶片處理程序，能夠傳輸長達十二英寸直徑的晶片，最大載荷容量可達700公斤。該單元配備了耐用的雙鎖結構和集成控制設備，而集成的熱保護系統和視覺單元則保證了機器精度、質量和可靠性的最高水平。