二手 ASYST LPT 2200 #9016891 待售

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製造商
ASYST
模型
LPT 2200
ID: 9016891
晶圓大小: 8"
SMIF Loader, 8" Asyst LPT-2200 bolt-on SMIF load-port Part no. 9700-6232-01 Right-hand orientation Vertical movement 2001 vintage.
ASYST LPT 2200是一個先進的自動化晶片處理程序,旨在提供對半導體過程控制至關重要的一致和可靠的材料處理和管理。這種裝置可以容納範圍廣泛的晶圓尺寸,從100毫米到200毫米,並且可以以高速、精確和高效的速度每分鐘最多移動200個載波。ASYST LPT2200利用易於使用的圖形用戶界面提供晶圓跟蹤和沈積過程的完全可見性和控制性,以及信息記錄和報告。GUI還包括一個虛擬液晶屏,用於顯示對設備狀態和事件的實時監控,以及傳輸控制參數、程序設置和作業設置。此外,該設備還能夠使用基於PC的監視/維護軟件保存、加載和比較設備設置。LPT 2200采用堅固、符合人體工程學的設計,可提供低振動、低噪音和最小空氣消耗。該處理程序的構造可實現模塊化內部操作,從而便於自定義、擴展和集成到系統環境中。該設備還包括一些安全功能,例如可鎖定的蓋子、無損觸摸屏和視覺監控。此外,LPT2200還具有改善工藝控制和產量的幾個特點,包括精確到百萬分之一英寸的2軸晶圓定位單元、可移動到200載波/分鐘的高速計算機控制撥片機以及車載晶圓傳輸工具。該設備還配備了一個旋轉木馬配置庫,以方便地保持處理區域的清潔度。ASYST LPT 2200每分鐘可處理多達200個載波,是大批量生產環境的理想解決方案。該設備還能夠處理多種晶圓尺寸,並配備了多種功能,可實現可擴展性、靈活性和定制。此外,該裝置可靠性高,效率高,能夠提供可靠的操作和較低的維護成本。
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