二手 ASYST LPT 2200 #9111909 待售

ASYST LPT 2200是為半導體及相關行業設計的晶圓處理程序。該裝置用於高速、高精度晶圓處理應用。ASYST LPT2200占地面積小,非常適合需要緊湊解決方案的應用程序。LPT 2200是一個模塊化的、高精度的晶圓處理程序，為適應具有極高精度的敏感基板而開發。LPT2200設計用於在往返目的地晶圓盒式磁帶位置時積極保持基板對準。其錯綜復雜的設計使模具易於更改並根據特定的應用需求進行定制。ASYST LPT 2200能夠處理多達205毫米晶片，一次最多4個晶片。ASYST LPT2200包括一個多軸單鳥籠機器人臂，可在三個方向上提供1微米的可重復性。機器人在處理晶片時提供937毫米/秒的最高速度；在盒式磁帶之間行駛時的最高速度為1,500毫米/秒。LPT 2200的精密設計包括一個真空吸盤設備，用於晶圓管理和拾取和放置精度。外部歧管式壓力調節器包括一個集成流量計，能夠產生高達25 Hg的真空水平。該系統采用銷卡盤和提升機構，能夠快速激活晶圓，並給出一個可調的癥結。LPT2200是需要小型晶片處理的實驗室、中試工廠和生產線的理想選擇。除了其先進的性能功能外,該設備還具有易於操作的用戶友好圖形用戶界面,以及集成的診斷軟件和可選的SCADA連接。綜上所述，ASYST LPT 2200是高速、高精度晶圓處理解決方案的理想選擇。這臺機器的設計可以容納各種基材尺寸，並提供可重復的工藝結果。它需要最少的時間和精力進行設置和維護,並且可以輕松地與外部控制系統集成。