二手 ASYST LPT 2200 #9146576 待售

ASYST LPT 2200是一種傳統的機器人晶圓處理程序，設計用於各種太陽能電池制造工藝。它具有高度精確和可靠的運動的多個軸，允許精確和復雜的晶圓操作和放置。該晶片處理程序為晶片檢查、晶片分選和處理、晶片測試、晶片清洗等應用提供了廣泛的靈活性和效率。ASYST LPT2200的主要部件包括晶圓穿梭機、Z和XY級，以及四軸機械臂。晶圓穿梭機是為晶圓精確可靠運輸而設計的電動裝置。它可以在積分點之間水平移動，真空卡盤提供與晶圓的抓地力和相互作用。Z級和XY級為線性型，具有平行運動，使得垂直軸和水平軸都能精確移動。四軸機械臂能夠沿著四個軸（X1、X2、Y和Z）進行精確運動，以便執行各種任務。LPT 2200的控制設備是基於MCS運動系統。此運動控制單元包括一個特殊的伺服控制器、24V直流電源和多個I/O模塊。伺服控制器負責晶圓處理程序組件的整體控制，使設備能夠精確、平滑地運動。I/O模塊為各種機器元件提供I/O控制，允許對晶圓處理過程進行靈活動態的控制。此外，LPT2200還配備了精確對準的視覺機器，以及用於更好地處理易碎晶片的集成夾具。還可以使用擴展套件進一步擴展晶圓處理功能。這款晶圓處理器結合了高性能、可靠性和靈活性，為各種太陽能電池制造工藝提供了高效的解決方案。