二手 ASYST LPT 2200 #9221773 待售

ASYST LPT 2200是一種全自動晶片處理程序，設計用於在半導體加工工具之間傳輸和操縱350 mm、300 mm和200 mm晶片。設備采用Galil運動控制器、兩個諧波驅動器和高分辨率、無Pb的線性編碼器構建。其占地面積小、設計優化，使其能夠在潔凈室環境中運行，同時提供復雜半導體應用所需的高吞吐量和精確度。ASYST LPT2200的主要功能有兩個：載波傳輸和托架間對齊。四個加工灣端口中的任何兩個都通過系統的X-Y軸和旋轉級以亞微米精度定位,從而使晶片能夠在檢查和處理端口之間快速移動。線性轉儲單元還允許從托架到托架以及從彈匣端口進行晶圓交換,從而使機器能夠為各種操作配置自身。該工具具有許多安全功能,旨在消除人為錯誤並保護微妙的晶片免受潛在的破壞性事件的影響。其中包括一個集成的視覺資產和碰撞檢測傳感器，防止在發生阻塞時移動。此外,LPT 2200能夠執行多種錯誤診斷,並且可以集成到工廠範圍的體系結構中以進行全面的監控。該模型還包括各種自動清洗過程，在需要時用清潔溶液和壓縮氮排出和沖洗四個托架端口中的每一個。此外，還配備了去離子水再循環設備，確保了系統的長期可靠性，減少了維護和保養所需的人工清洗次數。最後,LPT2200采用耐用、符合人體工程學設計的框架,安裝在PPC機箱中,適合在各種工廠配置和工作環境中使用。它還包含了多種高品質的電動機、放大器和電子設備，設計用於最大限度地減少噪音和熱量積累。這加上其直觀、用戶友好的控制軟件，使得ASYST LPT 2200成為各種半導體處理應用的理想選擇。