二手 ASYST LPT 2200 #9275212 待售

ASYST LPT 2200是在HVM（高批量制造）和研發實驗室中為精密晶圓廠自動化而設計的晶圓處理程序。它是為200 mm或≤ 150 mm晶片（或≤50mm平方）配置的緊湊、緊湊的晶片處理程序,提供精確、可重復的基板運動。它具有獨特的懸架設計，提供可靠的運動響應，同時減少振動和機械沖擊。ASYST LPT2200有三個主要部分：主框架、線性定位表和晶片級。主框架支持LPT並為其提供結構完整性,確保在具有挑戰性的生產方案中精確且可重復運行。晶片級由多軸級組成,能夠快速準確地處理晶片。LPT由四個主要部分組成：伺服驅動電動機、一組以高速、精確的速度移動舞臺的直線電動導軌、一個提供額外穩定性的滾筒臺，以及一個減少振動和機械沖擊的彎曲。LPT是設備的關鍵部件，其設計經過優化，確保了可靠的運動響應，同時最大限度地減少了振動和機械沖擊。為了進一步提高其準確性和性能，LPT采用高分辨率編碼器驅動。這樣可以精確控制位置和速度,從而使系統能夠滿足嚴格的吞吐量要求。LPT還配備了專用運動控制器、步進電機伺服、編碼器支持等高級功能。這些功能以及強大的軟件和硬件的使用,確保了高效、平穩的運行。LPT 2200晶圓處理程序還支持一系列傳感器,用於監視設備的位置和速度,從而進一步優化其性能。總之，LPT2200是一臺可靠、先進的晶圓處理機，非常適合精密晶圓廠自動化。憑借其獨特的懸掛設計、先進的特性和傳感器，它具有很高的精確度和可重復性，使其能夠滿足嚴格的吞吐量要求。它緊湊、高效，能夠容納各種基材尺寸，最大限度的多功能性。