二手 ASYST LPT 2200 #9384482 待售

ASYST LPT 2200是一種高度可靠的晶片處理程序,設計用於在潔凈室環境中傳輸和精確定位200 mm和300 mm半導體晶片。該裝置由兩個主要部件組成；晶片傳輸接口櫃（控制晶片在晶片托盤上的拾取和置置）和晶片傳輸子系統（裝置驅動晶片傳輸階段的機構）,以及溫度、濕度和粒子監測器。ASYST LPT2200采用電動步進電機、皮帶驅動、可編程微型級以及三軸閉環操縱桿控制系統來精確定位器件內的晶片。該設備還配備了可編程定位器，靈敏度從1.26um到5um不等，可重復性為+/-2.5um，導致在設備使用時晶片定位非常精確。LPT 2200被設計為能夠傳輸托盤尺寸從4「到9」的晶片，即200 mm和300 mm晶片，一次最多可容納6個晶片。它還設計用於兩種晶片到晶片的配置,這樣可以輕松地將晶片從托盤傳輸到托盤,而無需任何手動幹預。該裝置還包含一個電動氣動隔離閥，作為不同工藝設備之間的空氣屏蔽。這種空氣屏蔽裝置提供一個清潔和受控的環境，使設備能夠操作，從而有助於防止汙染積聚。此外，該裝置經過專門設計，可在41°C的最高溫度和20-60%的濕度下運行。這意味著它適合在各種潔凈室環境中使用，甚至可以在10級和100級潔凈室等危險區域使用。總之，LPT2200是一個高度可靠和精確的晶圓處理程序，非常適合在潔凈室和其他高精度環境和應用中使用。利用其三軸控制系統、溫度、濕度和顆粒監測，以及皮帶驅動、可編程微級和電氣動隔離閥，設計用於運輸和精確定位半導體晶片，提供卓越的性能。