二手 ASYST / PST 100 #27562 待售
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單擊可縮放
ID: 27562
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Wafer metrology sorters, 8"
(2) ASYST SMIF Indexers
Open cassette plate
Equip robot
Robot controller
Aligner / Controller
Upgraded end-effector
PC Controller
FT-LCD Display unit
Keyboard
Mouse / Trackball
1996 vintage.
ASYST/PST 100晶圓處理器是一種高速晶圓處理設備,旨在在自動化半導體制造環境中將晶圓從一個工藝點高效移動到另一個工藝點。該系統由工業級機動平臺、負載端口、工具框架和電氣控制器組成。機動平臺能夠360度旋轉，允許進入單元的所有軸。在平臺上，負載端口連接到刀具框架，為處理晶片提供了一個重度屏蔽的工作空間。電氣控制器便於電動平臺、負載端口和任何其他外圍設備之間的自動通信。機動化平臺使用高效的齒輪傳動來方便地將晶片從一個位置移動到另一個位置，而負載端口提供了一個高度屏蔽的環境，以防止汙染和/或電氣幹擾。該平臺的可調速度為0-200毫米/秒,以滿足所有傳輸需求。例如,高速傳輸可以在存在高速處理步驟時進行,而較慢的速度可以在需要精細處理時進行選擇。可調速度特性是PST 100的關鍵要素，允許用戶根據自己的流程定制機器。ASYST的刀架PST100由一對鎖緊夾具固定在平臺上,並包含用於各種終端效應器設備的標準接口。框架可調且易於配置,允許多種位置和設備類型。它還包括內置的安全功能,確保晶片始終安全處理。此外,PST100還包括一個電氣控制器,它與電動平臺、負載端口和任何其他外圍設備集成在一起,以方便自動通信。ASYST 100是高通量晶圓處理的完美解決方案。它具有高效的速度和可調的特點，能夠輕松地處理任何生產線。它能夠根據各種工藝需求進行定制,因此與現有的生產線系統高度兼容。事實證明,該工具在使用多個晶片時是可靠的,並且可以通過消除手動處理顯著降低成本。PST PST100還利用先進的安全功能,使其成為高效、安全的晶片處理的理想解決方案。
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