二手 ASYST / PST SPARTAN #293652724 待售

ASYST/PST SPARTAN是設計用於半導體制造操作的晶圓處理程序。它配備了一系列自動化功能，用於晶片的裝卸、清潔、對準甚至切割。該設備可用於手動、半自動和全自動模式。在手動模式下,處理程序托架臂可以移動到其工作區內的任何位置。晶圓托架鎖定在支撐板中，設備會自動檢測晶圓並將其相對於裝配表面定向。其設計支持大幅面（300 mm）、小幅面（50 mm）和陶瓷（Ceramic materials）晶圓。系統使用特殊的高速裝載機和卸載機一次最多可裝卸三個晶片。裝載機和卸載機可以自動化以優化吞吐量,同時保持晶圓方向和間距。處理程序還設有晶片清潔站，使用超聲波和化學清洗工藝在處理前清除晶片表面汙染物。采用碳氫化合物真空棒去除晶片表面的顆粒.然後將晶片通過氮素等離子體清潔器，進一步凈化表面，以獲得最佳處理效果。其他可用的操作包括激光圖像識別,用於精確對準處理程序中的晶片,刀片切割機,將切口切成標準形狀和定制形狀,以及壓力凸輪,以便對晶片施加壓力。PST SPARTAN晶片處理程序設計具有高度可靠和堅固的設計,以確保可靠的運行。它能夠在其支撐板上容納多達150個晶圓。它還包括一個4步安全鎖單元，以限制可能的晶圓處理錯誤。晶圓處理程序還包括要打印或上載到計算機以進行跟蹤和分析的報告和作業文件。綜上所述，ASYST SPARTAN是為高吞吐量生產作業而設計的先進晶圓處理程序。它配備了一系列自動化功能，用於晶片的裝卸、清潔、對準甚至切割。該設備還配置了4-Step Safety Lock機器，包括晶圓清潔站、激光圖像識別工具、刀片切割機和壓力凸輪。該設備能夠支持大幅面（300mm）、小幅面（50mm）和陶瓷（Ceramic materials）晶片,並在要求最苛刻的半導體制造環境中采用可靠的安全特性。