二手 ASYST / PST SPARTAN #293652726 待售

ASYST/PST SPARTAN是一種晶圓處理程序,旨在支持需要高精度和可靠性的應用程序。PST SPARTAN有兩種變體可供選擇，分別是機器人（電動機驅動的航天飛機）和處理器（處理室、電源、控件和傳感器）。該產品範圍適用於多種工藝和溫度，範圍從低（<100C）到高（>400C），具有多步晶片裝卸、晶片分選、晶片背面清潔等多種功能。ASYST SPARTAN晶圓處理程序設計簡潔高效。它具有固定處理程序底座和靈活的模塊化設計,易於升級和安裝。模塊化硬件設計允許結構完整性和長期維護程序，為晶圓處理和處理提供了可靠、穩定的平臺。此外,它的控制體系結構還提供了運動、過程和傳感器子系統的強大集成,使其成為在此過程中需要高精度和可重復性的應用程序的合適解決方案。SPARTAN晶片處理程序具有廣泛的基材和尺寸,包括300 mm和200 mm晶片以及各種特種基材。它支持多種模具處理操作，如模具放置、拾取和分類。這是通過使用真空設備和采用晶圓旅行旋轉木馬平臺實現的。該系統采用閉環控制裝置，對晶圓在航天飛機中的位置進行監控，並以高精度反饋到處理器基座，從而提供高精度和可靠性。提供先進的安全功能,幫助將人員和設備受到傷害的風險降至最低。這些安全特性包括限位開關、電子停止按鈕和三維位置安全機。ASYST/PST SPARTAN晶圓處理程序具有廣泛的應用,並保證提供完整的晶圓處理支持。它的特點使得可以處理各種基板、尺寸和溫度，以及一個穩定的晶圓傳輸工具，具有可重復的精度和可靠性。它也是簡單的使用和設置，使得它成為一個很好的選擇，為客戶尋找高質量，經濟高效的晶圓處理系統。