二手 ASYST / PST SPARTAN #293659688 待售

ASYST/PST SPARTAN是一種晶圓處理程序,專為各種晶圓處理應用程序而設計。設備可以處理直徑在4到8英寸之間的晶片，並且能夠以高達25um/秒的速度處理和處理多達1000個晶片。PST SPARTAN使用「橋」系統，將晶片連接在兩組操縱臂之間，這些臂提供精確、可重復的運動以精確定位。操作臂由氣瓶驅動，可提供快速、位置重復性和高效率的操作。ASYST SPARTAN安裝了多個安全功能,以保護晶片免受損壞。氣瓶不得超過最大運動範圍,以防止手臂與零件或環境接觸。此外，該裝置可以通過在接觸前停止手臂的運動來檢測潛在的碰撞。機器還可以檢測零件的損壞或變形，使其成為一個可靠和安全的晶圓處理環境。SPARTAN配有控制器和計算機接口,便於編程和設置。控制器能夠同時控制多達8組武器的位置控制，並包含用於安全操作的內置SPC安全工具。計算機接口還配備了緊急情況下的安全關機能力。除橋梁資產外，ASYST/PST SPARTAN還裝有一個帶有3英寸變焦鏡頭的前向攝像頭，用於直排視覺檢查。該相機具有光強度和顏色補償能力，可以在處理過程中對樣品進行可靠的檢查。相機還有一個LED光源，用於照明條件下沒有嚴酷的工業照明。PST SPARTAN由於其自我診斷和檢測到移動緩慢的部件而更容易維護，這可以提醒操作員任何可能的問題。如果模型出現故障,ASYST SPARTAN診斷設備的分層方法可確保輕松維護並延長產品壽命。SPARTAN由於其精確度和可靠性，在晶圓處理應用領域是最好的。其安全特性、計算機界面、前置攝像頭和易於維護的範圍，使其成為任何生產線的理想晶圓處理系統。