二手 ASYST / PST SPARTAN #293671321 待售

ASYST/PST SPARTAN是為自動化半導體、平板顯示器和其他先進技術應用而設計的高性能多功能晶圓處理設備。它能夠處理各種晶圓尺寸,並具有高級功能,可為高級高容量應用程序提供高速、精確和可重復性。PST SPARTAN由四個主要組件組成：主機模塊、旋轉木馬模塊、前端輸送機和後端輸送機。主機模塊負責系統其他模塊之間的自動化控制和通信，包括一個可編程邏輯控制器（PLC）。旋轉木馬模塊容納晶片的存儲，一次最多可容納50個晶片。前端輸送機使用檢測潛在幹擾的傳感器快速準確地移動晶片,而後端輸送機設計為以每小時600晶片的速度卸載晶片。ASYST SPARTAN配備了許多高級功能,能夠快速處理晶圓。集成視覺單元允許在前端輸送機上進行實時晶圓操縱和引導，而定制的視覺檢查可以並入機器中進行過程中的檢查和分析。該工具還能夠對視覺和功能表面特征進行直通式檢查。此外,旋轉木馬模塊的設計允許在此過程中並行加載和卸載視頻。SPARTAN的運動部件由導線螺絲和精密球形螺絲組合驅動，以實現平滑運動和高精度。先進的冷卻資產可使整個型號在目標溫度範圍內運行,以獲得最佳性能、可靠性和使用壽命。ASYST/PST SPARTAN是一種高度靈活和可擴展的設備,一次最多可處理200個晶圓。它具有多種高級功能,使其成為大容量、自動化半導體、平板顯示器和其他先進技術生產的絕佳選擇。