二手 ASYST / PST SPARTAN #293766475 待售

ASYST/PST SPARTAN是用於自動化半導體傳輸和操作的晶圓處理程序。它是一種封閉式的設計，支持處理多個盒式磁帶。PST SPARTAN提供了一系列輸送機速度,包括990mm/s的最高速度和75mm/s的最低速度,允許廣泛的應用。它還具有一系列傳輸配置，以滿足各種流程的需求。ASYST SPARTAN最顯著的特點是能夠處理直徑達200毫米的晶片。該單元采用集成聯鎖機構設計，以確保在改變水平的同時避免過度加速或減速。SPARTAN的潔凈室安全設計還提供變性濾波器聯鎖、外部照明和減振功能，以確保最高水平的安全和性能。ASYST/PST SPARTAN除了具有出色的傳輸速度和能力外,還提供一系列自動化功能。該系統采用遠程計算和網絡設施命令（CNC）設計,用於手動和自動操作。它還能夠執行機器視覺任務，以及機器控制、過程操作和其他功能，從而提高靈活性和自動化。PST SPARTAN還提供一系列通信協議,包括RS 232、RS485和以太網,提供安全可靠的數據傳輸。該系統采用一系列內部傳感技術設計，包括運動編碼器、溫度傳感器和壓力傳感器，並提供廣泛的外部輸入和輸出。最後,ASYST SPARTAN采用優化的控制體系結構和用戶友好的圖形用戶界面進行設計,便於操作、監控和調整。它提供標準配置和高級配置,後者提供增強的性能、安全性和可靠性,以及延長的保修範圍。SPARTAN晶圓處理程序具有豐富的功能,可為許多應用程序提供卓越的自動化和吞吐量。