二手 ASYST / PST SPARTAN #293798452 待售

ASYST/PST SPARTAN是由Pacific Technical Products公司開發的晶圓處理程序，用於半導體晶圓的自動處理。PST SPARTAN是一種通用工具,非常適合用於快速生產和原型制作領域以及實驗室應用。ASYST SPARTAN設計用於處理200 mm和300 mm晶圓,以及多個盒式磁帶、無盒式磁帶應用程序和FOUP。它具有一個頂端加載機器人,用於將晶圓與前開口統一吊艙（FOUP）存儲箱之間的位置進行傳輸。它還有一個自動加載站，晶圓可以直接從其盒式磁帶加載到機器人上。SPARTAN還有一個集成的機器人處理系統和模塊化設計，可以適應各種應用。它包括五種獨立的操作模式：單晶片、批量傳輸、存儲/檢索、掃描/排序和刀具到刀具傳輸。在單一晶片模式下,晶片一次處理一次,可以在處理工具或存儲吊艙之間加載、預先對齊和移動。在批量傳輸模式下，機器人一次最多可以將五個晶片從一個地方轉移到另一個地方。此模式非常適合快速處理晶片以實現快速吞吐量或原型設計。存儲/檢索模式允許晶片存儲在存儲插槽中並在需要時按需檢索。掃描/排序模式允許以多個方向掃描晶片,並根據特定標準進行排序。刀具到刀具的傳輸模式使晶片能夠在兩個或多個不同的加工工具之間高效移動。ASYST/PST SPARTAN還提供了一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和基於Web的遠程訪問。它使用戶能夠輕松地監視機器人的進度並排除可能發生的任何問題。GUI還提供有關晶圓位置精度和智能晶圓處理統計信息的最新信息。總體而言，PST SPARTAN為半導體晶片的自動處理提供了可靠和用戶友好的解決方案。它采用模塊化設計和多種操作模式，為快速生產、原型制作和實驗室應用提供了高效、通用的工具。