二手 ASYST / PST SPARTAN #9247586 待售
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ID: 9247586
EFEM Wafer sorter
Includes:
Datum structure
Mini-environment
Wafer engine
End effector
Load port
Aligner
Front electrical enclosure
Bridge tool option
ASYST EG-300B Edge grip buffered wafer aligner
Accurate alignment:
Wafer centering: +/- 0.05mm
Notch angle: +/- 0.075 deg
Wafer buffer function: Minimize robot idle time
Integrated OCR cameras: Top and/or bottom read
Vacuum 80 kPa.43 L/mins
10mm Flex tube comptabile with SMC one touch fitting
Ethernet: RJ-45 Connection
Electrical requirements: 120 VAC, 15 Amp circuit, 10 Amps full load.
ASYST/PST SPARTAN是為半導體工業設計的高性能晶圓處理器。它是一種自動化晶圓傳輸設備,設計用於精確移動、旋轉和傳輸半導體晶圓,損傷最小,總處理時間短。PST SPARTAN晶片處理程序能夠攜帶多達12個晶片,並以精確的精度將它們從一個加工站移動到另一個加工站。晶圓傳輸系統使用兩個階段,能夠同時從任一級別拾取和移動晶圓。晶片的運動以無刷線性伺服技術為基礎,提供高精度、可靠、無抽動和無抽動的定位。它還采用了一個編碼器單元,以確保晶圓取向的X、Y和R軸上的精確和可重復運動。ASYST SPARTAN的設計實際上是免費維護的,並且在其使用壽命內非常可靠。這是很容易安裝,有一個強大的掃描機,檢測晶片氣泡或邊緣芯片,防止處理程序從拾取晶片。晶圓處理程序具有用於快速作業設置和靈活編程的軟件,可以快速執行復雜的配方。SPARTAN晶片處理程序配備了防靜電、防刮擦的防護罩,以保護晶片免受靜電和刮擦。此外,外殼的設計目的是確保塵埃顆粒和來自周圍環境的任何其他碎片不被吸引到晶圓表面,從而延長其壽命。它內置的容錯工具可以識別、分析和解決出現的問題,從而確保最高級別的性能和無錯誤的操作。它還包括用戶友好的控件和顏色編碼的觸摸屏,便於訪問和操作。ASYST/PST SPARTAN晶圓處理程序旨在消除半導體工業中的人力勞動並提高生產率。它是晶圓運輸和處理任務的可靠、可靠和經濟高效的解決方案。PST SPARTAN晶圓處理器具有高精度、降低的維護要求和直觀的用戶界面,是半導體行業中許多生產和實驗室過程的完美解決方案。
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